| 专利名称 | 一种测试基板及采用该测试基板制造的探针卡 | 申请号 | CN201310259568.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103344791A | 公开（授权）日 | 2013.10.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 发明（设计）人 | 蒋力;徐强;李慧云;徐国卿;苏少博;张晓龙 | 主分类号 | G01R1/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01R1/02(2006.01)I;G01R1/073(2006.01)I | 专利有效期 | 一种测试基板及采用该测试基板制造的探针卡 至一种测试基板及采用该测试基板制造的探针卡 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种测试基板及采用该测试基板制造的探针卡，所述测试基板顶部表面上的测试端微凸起按照待测晶片底部待测触点的布局进行排列，通过顶层布线与过基板穿孔对应连接并电导通，过基板穿孔与测试基板底部表面的探测凸起对应连接并电导通，而探测凸起与测试探针的尺寸相匹配，从而建立了测试探针与测试端微凸起和待测触点间一一对应的信号联系，解决了现有技术中因测试探针尺寸过大而待测触点尺寸过小，无法通过测试探针直接对每一待测触点进行检测的问题。通过在测试基板顶部表面铺上异方性导电胶，使得测试端微凸起与待测触点无需接触即可电导通，避免了对晶片的损伤且提高了信号传输质量。 |
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