| 专利名称 | 一种基于非对称垂直狭缝波导的偏振旋转器 | 申请号 | CN201310280860.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103336330A | 公开（授权）日 | 2013.10.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 费永浩;陈少武 | 主分类号 | G02B6/122(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B6/122(2006.01)I;G02B6/126(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基于非对称垂直狭缝波导的偏振旋转器 至一种基于非对称垂直狭缝波导的偏振旋转器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种基于非对称垂直狭缝(slot)波导的偏振旋转器，其包括：入射端波导，其用于导入外部入射的光；模式转换波导，其用于将TE/TM模入射光转化为TM/TE模出射光；出射端波导，其用于导出TM/TE模；其中，入射端波导、模式转换波导和出射端波导均为不对称狭缝波导。该结构在纵向上打破了材料的对称性，横向上打破了几何尺寸的对称性，从而使得特定波导中的本征模式是混合模式，两个本征混合模式之间可以实现相互转化，最终实现TE模和TM模之间的相互转化。该偏振旋转器可以利用一次刻蚀将TE/TM转化为TM/TE模，大大减小了器件制作难度。 |
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