| 专利名称 | 频率可调的MEMS谐振器 | 申请号 | CN201310306960.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103338022A | 公开（授权）日 | 2013.10.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 骆伟;赵晖;袁泉;杨晋玲;杨富华 | 主分类号 | H03H9/24(2006.01)I | IPC主分类号 | H03H9/24(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 频率可调的MEMS谐振器 至频率可调的MEMS谐振器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种频率可调的MEMS谐振器，包括：一谐振单元，为圆盘形、圆环形或对称多边形结构，其中心为振动位移节点，该谐振单元由一位于位移节点处的支撑锚点支撑，该谐振单元的表面设有多个微结构；多个电极，其位于谐振单元的外围或上方，各电极之间有一间隙，各电极与谐振单元之间直接接触或有一间隙。本发明在不增加结构复杂性的情况下，实现多种不同频率输出。 |
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