| 专利名称 | 一种用于光学元件在光轴方向位置对准的装置与方法 | 申请号 | CN201310284506.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN103335615A | 公开(授权)日 | 2013.10.02 | 申请(专利权)人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明(设计)人 | 李世杰;陈强;闫锋涛;范斌;万勇建;侯溪 | 主分类号 | G01B11/27(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/27(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于光学元件在光轴方向位置对准的装置与方法 至一种用于光学元件在光轴方向位置对准的装置与方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明是一种用于光学元件在光轴方向位置对准的装置与方法,包括在干涉仪输出光束的光轴上依次放置标准镜头、计算全息图和被测光学元件,将计算全息图固定在小五维调整架上,将被测光学元件固定在大五维调整架上;将计算全息图放置在标准镜头的焦点后面的设计位置处,来自干涉仪内部的光束经过标准镜头后入射到计算全息图上,使发散球面波前变为会聚球面波前,在被测光学元件的光轴方向位置处形成一个会聚焦点;当会聚球面波前照射到被测光学元件上后,将沿着对称光路位置返回,从而使会聚球面波前与干涉仪中的参考波前形成干涉条纹,通过对干涉条纹的监控,调节大五维调整架,将被测光学元件的在光轴方向位置控制在波长量级。 |
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