一种用于光学元件在光轴方向位置对准的装置与方法

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专利名称 一种用于光学元件在光轴方向位置对准的装置与方法 申请号 CN201310284506.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103335615A 公开(授权)日 2013.10.02 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 李世杰;陈强;闫锋涛;范斌;万勇建;侯溪 主分类号 G01B11/27(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/27(2006.01)I 专利有效期 一种用于光学元件在光轴方向位置对准的装置与方法 至一种用于光学元件在光轴方向位置对准的装置与方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明是一种用于光学元件在光轴方向位置对准的装置与方法,包括在干涉仪输出光束的光轴上依次放置标准镜头、计算全息图和被测光学元件,将计算全息图固定在小五维调整架上,将被测光学元件固定在大五维调整架上;将计算全息图放置在标准镜头的焦点后面的设计位置处,来自干涉仪内部的光束经过标准镜头后入射到计算全息图上,使发散球面波前变为会聚球面波前,在被测光学元件的光轴方向位置处形成一个会聚焦点;当会聚球面波前照射到被测光学元件上后,将沿着对称光路位置返回,从而使会聚球面波前与干涉仪中的参考波前形成干涉条纹,通过对干涉条纹的监控,调节大五维调整架,将被测光学元件的在光轴方向位置控制在波长量级。

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