| 专利名称 | 一种压电陶瓷执行器的高精度控制方法 | 申请号 | CN201310254046.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103336429A | 公开（授权）日 | 2013.10.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 田大鹏 | 主分类号 | G05B13/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G05B13/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种压电陶瓷执行器的高精度控制方法 至一种压电陶瓷执行器的高精度控制方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种压电陶瓷执行器的高精度控制方法，涉及高精度微机电系统与伺服技术领域，解决现有压电陶瓷执行器控制方法的不足，包括压电陶瓷线性化干扰观测器、反馈控制器、以及线性前馈；所述压电陶瓷线性化干扰观测器将压电陶瓷非线性迟滞、外界干扰、惯性力其它未建模动态等因素统一折合为等效干扰，实现该等效干扰的观测与补偿，从而保证压电陶瓷执行器响应特性的线性化；反馈控制器包含积分环节与二重积分环节，保证压电陶瓷执行器对指令的跟踪精度；所述线性前馈根据线性化的压电陶瓷执行器特性，将位置指令直接作用在压电陶瓷执行器上，提高执行器的动态性能。本发明不依靠非线性迟滞模型，且简单、可靠，提高了压电陶瓷执行器的伺服精度。 |
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