| 专利名称 | 一种用于高精度角锥棱镜光学检测的装置与方法 | 申请号 | CN201310231617.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103335819A | 公开（授权）日 | 2013.10.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 叶红卫;李新阳;沈锋 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于高精度角锥棱镜光学检测的装置与方法 至一种用于高精度角锥棱镜光学检测的装置与方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种用于高精度角锥棱镜光学检测的装置与方法，所述装置包括平行光源系统、远场成像系统、用于安置待测角锥的旋转支撑、用于检测光束分光调整的分光镜架和反射镜架、以及用于数据分析的远场数据采集系统。所述方法分析了角锥棱镜加工误差对角锥棱镜光学特性的影响关系，并对角锥棱镜自准反射光束的聚焦光斑特性参数进行分析，根据测量结果可以确定高精度角锥棱镜的加工精度以及成像质量，通过本发明的测量装置和方法，可以克服现有检测设备测量精度的不足，实现对角锥棱镜的高精度检测与筛选。 |
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