| 专利名称 | 光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法 | 申请号 | CN201310261140.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103335731A | 公开（授权）日 | 2013.10.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 李杰;唐锋;王向朝;戴凤钊;张敏 | 主分类号 | G01J9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法 至光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法，该干涉仪包括：光源，小孔光阑，周期相同、方向相互正交的第一光栅、第二光栅的光栅板、具有两个小孔光阑和两个方形光阑的光阑板和探测器。利用本发明光栅剪切波像差检测干涉仪检测待测系统的波像差，可消除差分波前的待测系统几何光程误差，提高待测系统的波像差检测准确度。 |
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