| 专利名称 | 环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置 | 申请号 | CN201310261124.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103322939A | 公开（授权）日 | 2013.09.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 徐学科;单海洋;刘小颂;杨明红;朱宝钤;张宝安;贺洪波;邵建达 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I;G01B11/30(2006.01)I | 专利有效期 | 环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置 至环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置，构成包括液压升降平台系统、反射镜系统、扩束镜系统和主干涉系统。本发明用于测量环形抛光机蜡盘面形，具有装置集成化、测量方便、测量快速、准确和在线实时测量的特点。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
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