| 专利名称 | 频率可切换的微机械谐振器 | 申请号 | CN201310178457.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103326691A | 公开（授权）日 | 2013.09.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 赵晖;杨晋玲;骆伟;杨富华 | 主分类号 | H03H9/24(2006.01)I | IPC主分类号 | H03H9/24(2006.01)I | 专利有效期 | 频率可切换的微机械谐振器 至频率可切换的微机械谐振器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种频率可切换的MEMS谐振器，包括：一中柱；一圆盘可动结构，该圆盘可动结构由连接至质心的中柱来支撑；多个驱动/检测电极，其呈放射状位于圆盘可动结构的周围；空气或固体间隙位于该圆盘可动结构和各驱动/检测电极之间。本发明通过改变驱动电极的连接方式，改变谐振频率；同时提出一种在不减小器件尺寸的前提下获得高谐振频率和高Q值的方法。 |
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