气压驱动支撑弯月型薄镜镜面的装置

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专利名称 气压驱动支撑弯月型薄镜镜面的装置 申请号 CN201310247520.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103323929A 公开(授权)日 2013.09.25 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 王洪桥;范斌;吴永前 主分类号 G02B7/183(2006.01)I IPC主分类号 G02B7/183(2006.01)I;G05B13/02(2006.01)I 专利有效期 气压驱动支撑弯月型薄镜镜面的装置 至气压驱动支撑弯月型薄镜镜面的装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明是一种气压驱动支撑弯月型薄镜的装置,含有基座、气压驱动器、两个气压控制器、气泵、计算机和力传感器,基座位于气压驱动器下方并固定连接,基座对气压驱动器限位;气泵的输出高压强气体;两个气压控制器的输入端分别与气泵的输出端连接;计算机的气压控制单元分别连接两个气压控制器;气压驱动器的两个输入端分别与每个气压控制器的输出端连接;力传感器安装在气压驱动器上方,弯月型薄镜位于力传感器上方并弯月型镜底部与力传感器固定连接;力传感器与计算机连接,将监测到驱动信号的产生力的大小和方向的数据传送到计算机中,力传感器和计算机对气压控制器形成闭环控制,控制各个气压驱动器施加到镜面的支撑力支撑弯月型薄镜。

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