| 专利名称 | 光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法 | 申请号 | CN201310227449.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103309175A | 公开（授权）日 | 2013.09.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 张方;朱菁;杨宝喜;黄惠杰;黄立华;曾爱军;胡小邦;刘蕾;张佩;肖艳芬;陈明 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法 至光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法，该装置的构成包括平行光光源、光阑、对准台、聚光镜和图像采集单元，上述部件的位置关系如下：沿平行光光源发射的平行光束的前进方向依次是同光轴的光阑、对准台、聚光镜和图像采集单元,所述的对准台供待对准的级联微透镜阵列放置，所述的对准台具有垂直于所述的光轴平移的机构。本发明容易实现，不仅可以用于级联微球面透镜的对准，也可以用于级联微柱面透镜的对准。 |
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