| 专利名称 | 一种等臂长外差式激光干涉测距系统 | 申请号 | CN201310231028.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103307985A | 公开（授权）日 | 2013.09.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院力学研究所 | 发明（设计）人 | 李玉琼;靳刚;罗子人;刘河山;董玉辉 | 主分类号 | G01B11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种等臂长外差式激光干涉测距系统 至一种等臂长外差式激光干涉测距系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种等臂长外差式激光干涉测距系统，至少包括：隔振系统，用于将外界的低频率噪声进行隔离与过滤，消除系统的震动噪声；真空系统，用于降低系统因温度波动所带来的热噪声；光源系统，用于提供2束高稳定性、高稳频的激光，同时这两束光具备相应的差分频率；干涉系统，用于产生两路等臂长外差式干涉信号，利用位移与相位之间的关系，得到被测两物体之间的位移变化信息；相位监测与数据分析系统，用于对干涉信号进行相位检测，对相位信息进行采集，并反演位移，反映干涉系统在各个频段上的测距精度。本发明可消除激光器频率不稳定性、各类噪声源对测距精度的影响，实现了长周期皮米量级的测量精度。 |
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