| 专利名称 | 一种用于检测密闭环境温度变化的方法 | 申请号 | CN201310186172.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN103308204A | 公开(授权)日 | 2013.09.18 | 申请(专利权)人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明(设计)人 | 晏诗恋;林学春;侯玮;于海娟;赵树森;孙伟;李梦龙 | 主分类号 | G01K7/16(2006.01)I | IPC主分类号 | G01K7/16(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于检测密闭环境温度变化的方法 至一种用于检测密闭环境温度变化的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种用于检测密闭环境温度变化的方法,主要采用激光直写的方式制作出一种温度传感器,温度传感器包括衬底和导电材料两个部分,根据导电材料的电阻率随密闭环境变化可得知其温度变化。利用本发明,能够及时、方便地检测密闭环境的温度变化,与其他传统方法相比,成本低廉,便于操作。 |
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