| 专利名称 | 基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制作方法 | 申请号 | CN201310234239.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103303862A | 公开（授权）日 | 2013.09.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 杨晋玲;王帅鹏;王晶晶;朱银芳;杨富华 | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81C1/00(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I | 专利有效期 | 基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制作方法 至基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制作方法，生化传感器以悬臂梁为结构单元，采用微纳加工工艺在硅基片上制作，即在硅片上通过光刻、干法刻蚀工艺制作悬臂梁及其附属结构，通过离子注入、电子束蒸发工艺制作出电学感应元件，从而使器件具有对探测信号自检测的功能。封装盖片通过设计模具，采用聚合物固化脱模键合工艺制作而成。本发明大大提高了器件的制作精度和成品率，可用于器件的大规模制作，有效降低了生产成本。此外，本发明还可应用于其它结构的MEMS器件的制作，如双端固支梁结构、叉指式加速度计及其它电容、电阻式传感器。 |
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