| 专利名称 | 三维热电能量收集器及其制作方法 | 申请号 | CN201210048653.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103296190A | 公开（授权）日 | 2013.09.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 徐德辉;熊斌;王跃林 | 主分类号 | H01L35/14(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L35/14(2006.01)I;H01L35/32(2006.01)I;H01L27/16(2006.01)I;H01L35/34(2006.01)I | 专利有效期 | 三维热电能量收集器及其制作方法 至三维热电能量收集器及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种三维热电能量收集器及其制作方法，通过在低阻硅上刻蚀出多个凹槽及凹槽之间的硅柱，然后在凹槽表面形成绝缘层，并通过薄膜沉积技术制作热电柱，藉由所述热电柱与相邻的硅柱组成热电偶对，接着通过刻蚀沉积等工艺制作金属布线，衬底减薄、键合支撑衬底等工艺完成所述三维热电能量收集器的制作。本发明只需一次薄膜沉积工艺就完成了热电偶对结构的制作，简化了制作工艺。选择硅作为热电偶对的一种组分，保证了热电偶具有较高的塞贝克系数。采用垂直的柱形结构热电偶对，提高了热电能量收集器的机械稳定性。通过圆片级键合将热电偶结构和上下支撑衬底进行键合，提高了制作效率。 |
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