| 专利名称 | 物镜波像差检测系统 | 申请号 | CN201310246734.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103293879A | 公开（授权）日 | 2013.09.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 | 发明（设计）人 | 张运海;薛晓君;唐志豪 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 物镜波像差检测系统 至物镜波像差检测系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供的物镜波像差检测系统包括激光光源、双物镜波面干涉单元、CCD及与所述CCD电性连接的控制计算机。双物镜波面干涉单元包括第一分束棱镜、第一反射镜、参考物镜、玻片、待测物镜、第二分束棱镜及第二反射镜。另外，本发明还提供了一种物镜波像差检测的方法。本发明提供的物镜波像差检测系统和检测方法通过采用双物镜匹配方式得到参考物镜和待测物镜组合后的波像差，实现对大数值孔径显微物镜波像差的定量检测，解决了目前对大数值孔径物镜性能无法定量检测的难题。 |
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