一种功率MOSFET器件串联电阻的测试电路

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专利名称 一种功率MOSFET器件串联电阻的测试电路 申请号 CN201310219259.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103293383A 公开(授权)日 2013.09.11 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 温景超;王立新;周虹珊 主分类号 G01R27/02(2006.01)I IPC主分类号 G01R27/02(2006.01)I 专利有效期 一种功率MOSFET器件串联电阻的测试电路 至一种功率MOSFET器件串联电阻的测试电路 法律状态 授权 说明书摘要 本发明公开了一种功率MOSFET器件串联电阻的测试电路,属于半导体器件测试技术领域。所述测试电路包括脉冲发生器、相位显示器、电压波形数字转换器、电流波形数字转换器、可调电感、第一选通开关和第二选通开关;脉冲发生器的信号端通过串联电流波形数字转换器、可调电感与第一选通开关的固定端电连接;第一选通开关的两个选择端分别与栅极和漏极电连接;第二选通开关的两个选择端分别与源极和漏极电连接;电压波形数字转换器的一端与可调电感电连接;相位显示器电压输入端的一端与可调电感电连接,另一端接地;相位显示器电流输入端与可调电感电连接。本发明为评估器件性能提供重要参数指标,对器件设计和提高器件开关特性具有重要意义。

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