| 专利名称 | 以ZnSe为基底的4—14.5微米红外宽光谱分光膜 | 申请号 | CN201310251572.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103293577A | 公开（授权）日 | 2013.09.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 于天燕;秦杨;刘定权 | 主分类号 | G02B5/08(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/08(2006.01)I;B32B9/04(2006.01)I | 专利有效期 | 以ZnSe为基底的4—14.5微米红外宽光谱分光膜 至以ZnSe为基底的4—14.5微米红外宽光谱分光膜 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种以ZnSe晶体为基底的红外宽光谱分光膜，该分光膜的工作角度为0—30°，镀制在ZnSe基底上，以Ge和ZnSe为高低折射率材料，采用高低折射率交替的膜系设计方法获得折射率的匹配。大角度入射红外宽光谱分光膜在制备过程中采用了离子源辅助、合适的基底温度等特定工艺。该分光膜在入射角为0—30°时，能够实现均衡分光。本发明分光膜性能稳定，适合于干涉式大气探测技术中干涉系统的宽光谱分光使用。 |
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