| 专利名称 | 一种基于微环-马赫曾德尔干涉仪结构的电光调制器 | 申请号 | CN201310268418.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103293715A | 公开（授权）日 | 2013.09.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 费永浩;陈少武 | 主分类号 | G02F1/01(2006.01)I | IPC主分类号 | G02F1/01(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基于微环-马赫曾德尔干涉仪结构的电光调制器 至一种基于微环-马赫曾德尔干涉仪结构的电光调制器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种基于微环-马赫曾德尔干涉仪结构的电光调制器，其包括：入射波导，其为直波导，用于接收入射光和输出出射光；弯曲波导，其与入射波导近距离设置，使得经过入射波导内的入射光部分耦合进该弯曲波导，且经过该弯曲波导的出射光部分耦合进所述入射波导并输出；马赫曾德尔干涉仪结构，其输入端与弯曲波导的输入端相连，其输出端与弯曲波导的输出端相连，以形成微环谐振腔，且其用于增加微环谐振腔的光损耗。行波电极，其用于向所述马赫曾德尔干涉仪结构加载电压，以使得马赫曾德尔干涉仪结构对输入其的光进行强度调制。本发明通过在微环非耦合区加入了MZI结构，利用微环临界耦合和非临界耦合状态的转换完成对入射光的调制。 |
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