2T纳米晶存储器阵列及其操作方法

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专利名称 2T纳米晶存储器阵列及其操作方法 申请号 CN201210048730.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103295633A 公开(授权)日 2013.09.11 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 王琴;杨潇楠;王永;张满红;霍宗亮;刘明 主分类号 G11C16/06(2006.01)I IPC主分类号 G11C16/06(2006.01)I;H01L27/115(2006.01)I 专利有效期 2T纳米晶存储器阵列及其操作方法 至2T纳米晶存储器阵列及其操作方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种2T纳米晶存储器阵列及其操作方法。该阵列包括2T纳米晶存储器、位线、源线、字线、选择晶体管字线、中间线和衬底,其中2T纳米晶存储器包括存储单元和选择晶体管。整个存储器阵列的衬底连接在一起,位线也连接在一起。本发明可以实现CHE编程方式的数据写入,相对于FN隧穿编程方式具有更大的存储窗口以及更好的编程可靠性。并且,由于本发明采用独立的纳米晶存储数据,因此可以防止由于某一点漏电而影响到存储器阵列整体的数据,从而提高存储器阵列的数据保持的稳定性。

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