| 专利名称 | 匀光器及其制作方法 | 申请号 | CN201210046574.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103293677A | 公开（授权）日 | 2013.09.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 谢长青;翁永超;朱效立;高南;刘明 | 主分类号 | G02B27/09(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B27/09(2006.01)I;G02B5/18(2006.01)I;G02B27/42(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 匀光器及其制作方法 至匀光器及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明实施例公开了一种匀光器及其制造方法，所述匀光器为多个环带光子筛单元组成的阵列，所述环带光子筛单元包括波带片和所述波带片的不透光环带上随机分布的透光孔。通过基本单元的波带片及波带片的不透光环带上的透光孔，实现了位相型的衍射元件，将光束分成了多个细小的光束，每个小的光束内部的能量分布均匀，将所有的小光束累积叠加，得到了在某一位置能量均匀分布的光斑，实现光束远场的波前平顶化，以及光束的在聚焦和远场的扩散，从而实现了光束的匀光，提高衍射效率。 |
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