| 专利名称 | 一种提高准分子激光器输出能量的复合腔 | 申请号 | CN201220708635.3 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203180306U | 公开（授权）日 | 2013.09.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 周翊;单耀莹;范元媛;宋兴亮;张立佳;崔惠绒;王宇 | 主分类号 | H01S3/22(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S3/22(2006.01)I;H01S3/08(2006.01)I | 专利有效期 | 一种提高准分子激光器输出能量的复合腔 至一种提高准分子激光器输出能量的复合腔 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种提高准分子激光器输出能量的复合腔，包括准分子激光放电腔、激光输出模块、线宽压窄模块和激光放大模块，所述激光放电腔内包含有工作气体，该工作气体在激励源作用下能产生激光，其中所述激光放电腔、激光输出模块和线宽压窄模块构成一个线宽压窄腔，用于对所述工作气体产生的激光进行线宽压窄；所述激光放电腔、激光输出模块和激光放大模块构成一个放大腔，用于对所述经线宽压窄后的激光进行能量放大。本实用新型不仅可以实现准分子激光器窄线宽的输出，而且通过复合腔的设计，可以提高输出激光的能量及稳定性，同时本实用新型的复合腔结构简单，便于加工，调谐方便。 |
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