一种YBCO超导复合薄膜的制备方法

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专利名称 一种YBCO超导复合薄膜的制备方法 申请号 CN201310173937.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103280520A 公开(授权)日 2013.09.04 申请(专利权)人 中国科学院电工研究所 发明(设计)人 丁发柱;古宏伟;张腾;王洪艳;屈飞;彭星煜 主分类号 H01L39/24(2006.01)I IPC主分类号 H01L39/24(2006.01)I 专利有效期 一种YBCO超导复合薄膜的制备方法 至一种YBCO超导复合薄膜的制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种YBa2Cu3O7-x超导复合薄膜的制备方法,首先配制前驱液,把乙酸钐Sm(CH3COO)3、乙酸钇Y(CH3COO)3、乙酸钡Ba(CH3COO)2和乙酸铜Cu(CH3COO)2按照Sm:Y:Ba:Cu=0.05~0.1:1:2:3的摩尔比混合溶于10-30mol 三氟乙酸的水溶液中;搅拌均匀后真空蒸干溶剂得到凝胶;再加入甲醇搅拌均匀后蒸干溶剂得到凝胶;随后加入适量甲醇和松油醇,制成Sm、Y、Ba和Cu四种金属离子总浓度为1.5-3.0mol/L的溶液,制备成前驱液;然后将前驱液涂覆在基片上;涂覆好的薄膜先经历300℃-500℃的低温热处理过程,分解三氟乙酸盐;最后经历800℃-900℃高温热处理和450℃-550℃的退火过程形成含有纳米氧化钐的YBa2Cu3O7-x(YBCO)超导复合膜。本发明制备的YBCO薄膜的临界电流密度到达6MA/cm2(77K,0T)。

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