| 专利名称 | 一种真空高精度窗口的实现方法及其装置 | 申请号 | CN201310180114.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103278904A | 公开（授权）日 | 2013.09.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 杨飞;陈宝刚;王富国;张丽敏;明名 | 主分类号 | G02B7/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B7/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种真空高精度窗口的实现方法及其装置 至一种真空高精度窗口的实现方法及其装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种真空高精度窗口的实现方法及其装置属于光机电工程技术领域，目的在于解决现有技术中真空窗口存在的面形精度低的问题。本发明构建一种阶梯压差式的真空窗口的实现方法，安装座通过螺钉固定到安装接口上，窗口玻璃A通过压圈及密封圈Ａ、密封圈B和密封圈C安装到镜座Ａ上，多个柔性调整旋钮A圆周均布在所述镜座A和所述安装座之间；窗口玻璃B通过压圈及密封圈安装到镜座Ｂ上，金属波纹管Ｂ与镜座Ｂ及镜座A之间采用密封圈进行密封安装，多个柔性调整旋钮B圆周均布在所述镜座A和所述安装座B之间；采用n块窗口玻璃Ａ或窗口玻璃Ｂ连续安装。本发明的高精度真空窗口的实现方法及其装置操作简单、面形精度高、结构简单、方便拆卸和维护。 |
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