| 专利名称 | 一种折反式紫外光刻物镜 | 申请号 | CN201310244143.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103278912A | 公开（授权）日 | 2013.09.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 白瑜;邢廷文;朱红伟;吕保斌;邓超;廖志远 | 主分类号 | G02B13/14(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B13/14(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种折反式紫外光刻物镜 至一种折反式紫外光刻物镜 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明一种折反式紫外光刻物镜，以物平面输入光束传播方向为系统光轴，在系统光轴上依次放置第一透射组、反射组件和第二透射组，第一透射组具有正光焦度，反射组具有负光焦度，第二透射组具有正光焦度；其中第一透射组包括第一正透镜、第一负透镜、第二正透镜、第三正透镜、第四正透镜、第二负透镜、第五正透镜、第六正透镜、第三负透镜、第七正透镜、第八正透镜；反射组包括第一反射镜、第二反射镜；第二透射组包括第九正透镜、第四负透镜、第十正透镜、第五负透镜、第十一正透镜、第十二正透镜、第十三正透镜、第十四正透镜、第十五正透镜、第十六正透镜、第十七正透镜、第十八正透镜、第十九正透镜。本发明数值孔径大、成像质量好等优点。 |
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