| 专利名称 | 一种巯基-烯紫外光固化纳米压印材料 | 申请号 | CN201310234613.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103279011A | 公开（授权）日 | 2013.09.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 李志炜;张满;杨勇;胡松;邱传凯 | 主分类号 | G03F7/075(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/075(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I | 专利有效期 | 一种巯基-烯紫外光固化纳米压印材料 至一种巯基-烯紫外光固化纳米压印材料 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种巯基-烯紫外光固化纳米压印材料，由低粘度、多官能度的液体预聚物、光引发剂、助剂与稀释剂组成。低粘度、多官能度液体预聚物由（含硅）巯基单体和（含硅）烯烃单体组成。（含硅）巯基单体和（含硅）烯烃单体均含有两个或两个以上的可固化交联官能团，可固化交联官能团为巯基或碳碳不饱和双键。液体预聚物占材料总质量的5%-90%，稀释剂质量占材料总质量的95%-10%，光引发剂质量为液体预聚物质量的1%-5%，助剂质量为液体预聚物质量的0.01%-10%。本发明具有低粘度、快速固化、可在空气中完全固化、低收缩率的特点，基于旋转涂膜工艺，可作为紫外光固化纳米压印胶使用，实现大面积紫外光固化纳米压印，经济高效地生产出关键尺寸小于100纳米的图案。 |
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