光学元件体内激光损伤自动快速探测装置

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专利名称 光学元件体内激光损伤自动快速探测装置 申请号 CN201310161404.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103278309A 公开(授权)日 2013.09.04 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 胡国行;赵元安;易葵;李大伟;刘晓凤;柯立松 主分类号 G01M11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/02(2006.01)I 专利有效期 光学元件体内激光损伤自动快速探测装置 至光学元件体内激光损伤自动快速探测装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种光学元件体内激光损伤自动快速探测装置,构成包括:置于移动平台上的待测光学元件;由依次的Nd:YAG激光器和第一聚焦透镜组成的脉冲激光辐射系统;由第一HeNe连续激光器、第二聚焦透镜、第二HeNe激光器和第三聚焦透镜构成的HeNe激光照明系统;由依次的同光轴的孔径光阑、散射光收集透镜组、视场光阑和光电探测器组成的损伤探测系统,所述的光电探测器的输出端与计算机的输入端相连,该计算机的输出端通过数据输出卡与所述的Nd:YAG激光器和移动平台的控制端相连。本发明适于各类光学元件体内损伤的自动快速探测和判断。

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