| 专利名称 | 一种辉光放电清洗结构 | 申请号 | CN201320056133.1 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203165843U | 公开（授权）日 | 2013.08.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院等离子体物理研究所 | 发明（设计）人 | 杨庆喜;陈肇玺;宋云涛 | 主分类号 | H01J1/88(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J1/88(2006.01)I;G21B1/25(2006.01)I | 专利有效期 | 一种辉光放电清洗结构 至一种辉光放电清洗结构 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种辉光放电清洗结构，包括有后套管，所述的后套管右端密封焊接连接一波纹管的左端，后套管的左端通过固定法兰连接前套管的右端，波纹管的左端焊接固定有连接法兰，在连接法兰上固定有芯轴，且芯轴穿进波纹管内部，在所述的波纹管和后套管的外侧设有多根导向杆，所述的导向杆的右端固定在连接法兰上，左端固定在一活动法兰上，所述的活动法兰套在后套管的外侧，在所述的前套管的左端连接有电极头。本实用新型可以既有效的避免破坏原有真空环境方便的更换电极头的问题，又可以通过调节辉光放电电极头在真空室中的位置，保持真空室辉光放电清洗均匀性，同时具有操作简单，安装、拆卸方便，易更换的特点。 |
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