| 专利名称 | 局域表面等离子体和波导模式耦合的结构 | 申请号 | CN201310136485.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103267742A | 公开（授权）日 | 2013.08.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 宋国峰;张祖银;徐云;胡海峰;王立娜;马勋鹏;李康文 | 主分类号 | G01N21/41(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/41(2006.01)I | 专利有效期 | 局域表面等离子体和波导模式耦合的结构 至局域表面等离子体和波导模式耦合的结构 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种局域表面等离子体和波导模式耦合的结构，包括：一衬底；一波导层，该波导层制作在衬底上；一Au粒子层，该Au粒子层制作在波导层上。本发明可以有效的降低共振谱线的半高宽，从而提高传感器的品质因子(FOM)。 |
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