| 专利名称 | 点衍射干涉波像差测量仪及检测方法 | 申请号 | CN201310126148.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103267629A | 公开（授权）日 | 2013.08.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 唐锋;王向朝;张国先;万修龙 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 点衍射干涉波像差测量仪及检测方法 至点衍射干涉波像差测量仪及检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种点衍射干涉波像差测量仪，由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密调节台和数据处理单元组成。本发明干涉仪具有结构简单、相移元件不产生系统误差、高干涉条纹可见和可标定系统误差的优点。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障