| 专利名称 | 基于柔性衬底的气敏传感器及其制备方法 | 申请号 | CN201210036092.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103258954A | 公开（授权）日 | 2013.08.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 梁圣法;李冬梅;刘明;谢常青;陈鑫;詹爽 | 主分类号 | H01L51/00(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L51/00(2006.01)I | 专利有效期 | 基于柔性衬底的气敏传感器及其制备方法 至基于柔性衬底的气敏传感器及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种基于柔性衬底的气敏传感器及其制作方法，该气敏传感器从下往上依次为：衬底、下电极、敏感膜和上电极；其中，该敏感膜位于下电极与上电极之间，其截面部分被暴露出来，使得气体在该截面处同敏感膜作用，充分发挥出敏感膜的敏感特性。本发明提供的基于柔性衬底的气敏传感器及其制备方法，相比于传统的平面敏感膜，具有立体敏感的性质，易于被测气体与所有敏感膜的接触，极大的发挥了敏感膜的层间作用，实现在常温或高温下对特殊气体敏感的功能。 |
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