| 专利名称 | 一种对衍射孔的定位装置和定位方法 | 申请号 | CN201310219983.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103256889A | 公开（授权）日 | 2013.08.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 徐富超;许嘉俊;邢廷文 | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种对衍射孔的定位装置和定位方法 至一种对衍射孔的定位装置和定位方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种对衍射孔的定位装置和定位方法，定位装置包括聚透镜、衍射板、探测器、计算机和调整机构，其中：在聚透镜和探测器之间放置衍射板，入射光束经过聚透镜后在衍射板上形成聚焦斑，若聚焦斑落在衍射板的可透光区域，则在探测器上形成衍射光斑；调整机构与衍射板连接，且衍射板安装在调整机构上，调整机构使衍射板在调整机构的坐标系X、Y、Z方向移动和绕Z轴旋转，调整聚焦斑大小实现对衍射孔的定位；计算机与探测器连接，计算机从探测器获取衍射光斑的光强信号，用于显示探测器上的光强分布信息。 |
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