| 专利名称 | 用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置 | 申请号 | CN201310148644.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103259160A | 公开（授权）日 | 2013.08.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 刘斌;丁金滨;王魁波;沙鹏飞;周翊;王宇;赵江山 | 主分类号 | H01S3/03(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S3/03(2006.01)I;H01S3/034(2006.01)I | 专利有效期 | 用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置 至用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置，其具有出光窗片，所述激光器放电腔产生的激光经由该出光窗片向外界出射，其特征在于，所述电磁力密封窗装置由腔体密封端(201)、电磁密封段(202)和窗片密封端(203)构成，所述腔体密封端(201)、电磁密封段(202)和窗片密封端(203)依次连接而构成一个筒体，所述电磁密封段(202)用于通过电磁力来控制其本身的隔断与连通。本发明在拆换出光窗片时可以保证有毒的工作气体不会泄漏，同时保证不会有空气进入钝化好的放电腔内，从而提高工作效率，节约气体成本。 |
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