| 专利名称 | 涡旋干式真空泵防护涂层的制备方法 | 申请号 | CN201310200103.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103255399A | 公开（授权）日 | 2013.08.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院金属研究所 | 发明（设计）人 | 金花子;吴杰;南泉;熊天英 | 主分类号 | C23C18/36(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C18/36(2006.01)I;C23C14/22(2006.01)I | 专利有效期 | 涡旋干式真空泵防护涂层的制备方法 至涡旋干式真空泵防护涂层的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及洁净的真空系统获得表面防护领域，具体为一种涡旋干式真空泵防护涂层的制备方法。采用化学镀、氟涂料和真空离子镀（PVD）对涡旋干泵实施防护涂层，对转子和定子采用化学镀镍磷和氟涂料封闭技术制备防护涂层，对曲柄轴和曲柄销采用PVD技术制备Cr/CrN多层复合防护镀层。本发明方法应用于涡旋干泵可以提高真空泵的耐腐蚀性和耐磨性能，在高腐蚀性气体等离子刻蚀、生物制药和科学仪器的真空获得系统中，防护涂层可以长时间抵抗高腐蚀性气体的腐蚀，提高涡旋干泵的使用寿命。 |
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