| 专利名称 | 一种用于振动检测的外差调制方法 | 申请号 | CN201110445935.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102519574A | 公开（授权）日 | 2012.06.27 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 李丽艳;曾华林;周燕;何军;孟雪 | 主分类号 | G01H9/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01H9/00(2006.01)I;G02F2/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于振动检测的外差调制方法 至一种用于振动检测的外差调制方法 | 法律状态 | 公开 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种用于振动检测的外差调制方法，包括：步骤1：入射光束经过分束器被分成两束光，一束为参考光，一束为信号光；步骤2：参考光依次经过电光调制器和准直镜进入分光棱镜；信号光直接透过分光棱镜和光学天线照射到振动物体，经由振动物体反射被光学天线接收，最后进入分光棱镜；步骤3：进入分光棱镜的参考光与被振动物体反射进入分光棱镜的信号光在分光棱镜处发生干涉，然后进入光电探测器；步骤4：光电探测器接收载有物体振动信号的电信号，实现对入射光束的外差调制。利用本发明，解决了原有的由于声光调制器调制频率高而造成的后期信号解调难、解调方法受限制等问题。 |
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