| 专利名称 | 一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法 | 申请号 | CN201110431555.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102520561A | 公开（授权）日 | 2012.06.27 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 郑婉华;马传龙;范学东;马绍栋;齐爱谊 | 主分类号 | G02F1/355(2006.01)I | IPC主分类号 | G02F1/355(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I | 专利有效期 | 一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法 至一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法 | 法律状态 | 公开 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法，包括：在铁电晶体材料的+z面蒸镀透明电极；将该蒸镀有透明电极的铁电晶体材料的+z面与另一铁电晶体材料的+z面进行键合，得到复合铁电晶体；在该复合铁电晶体上下两面均蒸镀金属电极，然后对蒸镀金属电极的复合铁电晶体进行极化，得到大厚度周期极化铁电晶体材料。利用本发明，可制备出大厚度周期极化铁电晶体材料。 |
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