一种一维微平动机构

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专利名称 一种一维微平动机构 申请号 CN201110382126.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102519355A 公开(授权)日 2012.06.27 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 吴永前;伍凡;万勇建;范斌 主分类号 G01B9/02(2006.01)I IPC主分类号 G01B9/02(2006.01)I;G02B7/02(2006.01)I 专利有效期 一种一维微平动机构 至一种一维微平动机构 法律状态 公开 说明书摘要 本发明公开了一种基于弹性导向机构的一种一维微平动机构,微位移驱动器的输出端的球头和垫块采用单向接触方式,环形弹性薄片是具有旋转对称的U形连接的环形弹性薄片机构,其内环与内导向套筒通过螺钉紧固,外环与筒状机架通过螺钉紧固,从而确保微平动机构输出平台作一维单向微位移时不会发生转动,并具有在各种工作姿态下和受各种方向的小负载的情况下,实现精密直线微位移导向的功能。本发明具有结构简单,造价低廉,维护和保养容易等优点,解决了微位移驱动器的位移输出不同步带来的问题,并且减小了驱动控制的复杂度,机构中心位置留有较大空间,有利于通光或通过其它器件,适用于各种微纳级一维位移调整机构。

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