| 专利名称 | 偏振移相循环式雅敏剪切干涉测量仪 | 申请号 | CN201110427774.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102519357A | 公开（授权）日 | 2012.06.27 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 王利娟;刘立人;栾竹;孙建锋;周煜;闫爱民 | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/02(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I;G02B27/28(2006.01)I | 专利有效期 | 偏振移相循环式雅敏剪切干涉测量仪 至偏振移相循环式雅敏剪切干涉测量仪 | 法律状态 | 公开 | 说明书摘要 | 一种偏振移相循环式雅敏剪切干涉测量仪，由雅敏平行平板、剪切平板、双面直角反射镜、偏振移相器、毛玻璃、成像镜组、图像传感器和计算机组成，本发明不仅保持了等光程干涉、剪切量可调的特点，还具有完全共光路、结构简单紧凑的优点。能有效地抑制外界环境的影响，提高了仪器的测量精度和稳定性。 |
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