| 专利名称 | 一种用于真空紫外光学元件清洁和存放的紫外臭氧干燥柜 | 申请号 | CN201110416916.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102512002A | 公开（授权）日 | 2012.06.27 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 李斌成;郭春;林大伟 | 主分类号 | A47B81/00(2006.01)I | IPC主分类号 | A47B81/00(2006.01)I;B08B7/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于真空紫外光学元件清洁和存放的紫外臭氧干燥柜 至一种用于真空紫外光学元件清洁和存放的紫外臭氧干燥柜 | 法律状态 | 公开 | 说明书摘要 | 一种用于真空紫外光学元件清洁和存放的紫外臭氧干燥柜，包括紫外臭氧发生模块、空调模块、气体管理模块和智能单元，紫外臭氧发生模块对真空紫外光学元件的清洁处理；空调模块实现真空紫外光学元件清洁/存放过程中干燥柜内温度和湿度的控制；气体管理模块完成真空紫外光学元件清洁和存放过程中干燥柜内气体管理；智能单元控制真空紫外光学元件清洁/存放的全部过程。本发明能快速除去真空紫外光学元件上的碳氢根污染物，并阻止水汽对真空紫外光学元件光学性能的不利影响，有效地避免由于存储方式不当造成的真空紫外光学元件性能退化，尤其适用于真空紫外光学元件的清洁和存放。 |
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