| 专利名称 | 一种衬底冷却装置及带有该装置的电子束蒸镀装置 | 申请号 | CN201220742372.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203128648U | 公开（授权）日 | 2013.08.14 | 申请（专利权）人 | 国家纳米科学中心 | 发明（设计）人 | 李晓军;方英;宋志伟 | 主分类号 | C23C14/30(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/30(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I | 专利有效期 | 一种衬底冷却装置及带有该装置的电子束蒸镀装置 至一种衬底冷却装置及带有该装置的电子束蒸镀装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种衬底冷却装置及带有该装置的电子束蒸镀装置。所述装置从上至下依次包括驱动马达、传动杆、磁驱动部件及衬底固定盘架；所述磁驱动部件与衬底固定盘架之间设有冷却密封部件，所述磁驱动部件通过转动杆连接衬底固定盘架。所述电子束蒸镀装置安装有衬底冷却装置。本实用新型所述的衬底冷却装置及电子束蒸镀装置具有结构简单、合理，操作容易的特点，可以有效防止Lift-off工艺中光刻胶图案因升温而导致的热胀变形或者熔融，使得所制备的微纳图形满足设计的要求，减少由于设备原因对样品造成的误差或者破坏。 |
1、源头对接，价格透明
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