| 专利名称 | 控制准分子气体激光器放电腔内温度的装置 | 申请号 | CN201320026549.9 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203135201U | 公开（授权）日 | 2013.08.14 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 张立佳;吴晓斌;赵江山;丁金滨;李慧;刘斌;周翊;王宇 | 主分类号 | H01S3/041(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S3/041(2006.01)I | 专利有效期 | 控制准分子气体激光器放电腔内温度的装置 至控制准分子气体激光器放电腔内温度的装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种控制准分子气体激光器放电腔内温度的装置，包括位于激光器的放电腔腔体内部的放电区出气口处的第一温度传感器、位于放电腔腔体内部的放电区进气口处的第二温度传感器、位于腔体内壁的第三温度传感器、位于热交换系统和腔体冷却系统的出水管道内的第四温度传感器和第五温度传感器。第一至第五传感器均通过线路与ADRC连接，以将温度传感器检测的温度信号传送给ADRC。ADRC根据各温度信号来控制热交换系统、腔体冷却系统的进水管道上的流量调节阀，以及控制所述电加热器，从而实现对激光器的温度控制。本实用新型可以提高准分子气体激光器的温度稳定性。 |
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