一种宽波段大尺寸平面光栅衍射效率测试仪

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专利名称 一种宽波段大尺寸平面光栅衍射效率测试仪 申请号 CN201310113559.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103245488A 公开(授权)日 2013.08.14 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 陈少杰;曹海霞;齐向东;巴音贺希格;崔继承;唐玉国;朱文煜 主分类号 G01M11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/02(2006.01)I 专利有效期 一种宽波段大尺寸平面光栅衍射效率测试仪 至一种宽波段大尺寸平面光栅衍射效率测试仪 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种宽波段大尺寸平面光栅衍射效率测试仪,涉及光谱技术领域,解决现有光栅衍射效率测试仪无法实现宽波段范围内衍射效率的测量的问题,包括光源系统、前置单色仪、测量单色仪、探测系统和控制器;第一平面反射镜和第二平面反射镜和聚光镜;前置单色仪包括第一凹面准直镜、分光光栅组、第一转台、第一凹面成像镜和前置单色仪壳体;测量单色仪包括第二入射狭缝、第二凹面准直镜、第二转台、第二凹面成像镜和测量单色仪壳体;探测系统分别获取参考平面反射镜与待测平面光栅的衍射光通量,对待测平面光栅的衍射光通量与参考平面反射镜的反射光通量求比值,获得待测平面光栅的衍射效率。该衍射效率测试仪能够满足大口径平面光栅衍射效率的测量。

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