| 专利名称 | 基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法 | 申请号 | CN201310188648.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103235337A | 公开（授权）日 | 2013.08.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 王军波;邓涛;陈德勇;何文涛;范云洁;王鹏 | 主分类号 | G01V1/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G01V1/18(2006.01)I | 专利有效期 | 基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法 至基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法，所述电化学地震检波器包括：固定圈、外壳、弹性膜和电极敏感核心；所述电极敏感核心置于两个所述外壳之间，且所述电极敏感核心与外壳之间通过柔性密封垫圈密封；所述弹性膜置于每个所述外壳与固定圈之间，以实现固定圈与外壳之间的密封，所述外壳与所述固定圈之间通过机械方式固定。电极敏感核心采用MEMS加工技术制造出来后，将其密封在小的密封件中，再将小的密封件密封在大的外壳中，最后用螺丝加固完成整个检波器的封装。所有的硬接触面之间均放置一层软垫，螺丝加固时，软垫发生形变，实现机械密封。 |
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