| 专利名称 | 极紫外光刻光源收集镜污染测量装置 | 申请号 | CN201310116086.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103234913A | 公开（授权）日 | 2013.08.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 朱玲琳;张运波;陈明星;曾爱军;黄惠杰 | 主分类号 | G01N21/21(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/21(2006.01)I | 专利有效期 | 极紫外光刻光源收集镜污染测量装置 至极紫外光刻光源收集镜污染测量装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种极紫外光刻光源收集镜污染测量装置，该装置包括准直激光光源、线起偏器、消偏振分光器、样品器、四分之一波片、同步移相器、信号处理系统和极紫外光源收集器。本发明装置可以实时、有效地测量收集镜上的污染物。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障