| 专利名称 | MEMS振荡器 | 申请号 | CN201310178827.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103227612A | 公开（授权）日 | 2013.07.31 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 赵晖;杨晋玲;骆伟;杨富华 | 主分类号 | H03B5/04(2006.01)I | IPC主分类号 | H03B5/04(2006.01)I | 专利有效期 | MEMS振荡器 至MEMS振荡器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种MEMS振荡器，包括：一MEMS谐振器；一第一阻抗匹配网络，其输入端与MEMS谐振器的输出端连接；一第二阻抗匹配网络，其输出端与MEMS谐振器的输入端连接；一放大器，其输入端与第一阻抗匹配网络的输出端连接；一移相网络，其输入端与放大器的输出端连接，输出端与第二阻抗匹配网络的输入端连接；一输出缓冲器，其输入端与移相网络的输出端连接，以上构成的正反馈型振荡电路。本发明MEMS振荡器中的MEMS谐振器是带温度补偿的高频高品质因子(Q)的MEMS圆盘谐振器，具有高稳定的频率输出。 |
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