钕玻璃激活反射镜的制备方法

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专利名称 钕玻璃激活反射镜的制备方法 申请号 CN201310148760.2 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103225063A 公开(授权)日 2013.07.31 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 齐红基;孙卫;朱美萍;易葵 主分类号 C23C14/30(2006.01)I IPC主分类号 C23C14/30(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/10(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I 专利有效期 钕玻璃激活反射镜的制备方法 至钕玻璃激活反射镜的制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种钕玻璃激活反射镜的制备方法,该激活反射镜具备以下光谱特征:1053nm处,57°水平偏振分量的反射率大于99.5%,0°入射550nm-900nm透射率大于90%,0°入射1053nm的透射率大于30%。该激活反射镜的制备方法包括真空室外清洗、离子束清洗、薄膜沉积等步骤。本发明激活反射镜的制备工艺简单,工艺重复性好,与传统的透射式使用相比,可以获得双倍增益,光路系统的排布更加灵活,完全可以应用于基于反射式包边钕玻璃的高功率激光系统。

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