| 专利名称 | 基于相位环空间像主成分分析的投影物镜波像差检测方法 | 申请号 | CN201310139424.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103217871A | 公开（授权）日 | 2013.07.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 杨济硕;王向朝;李思坤;闫观勇;诸波尔 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 基于相位环空间像主成分分析的投影物镜波像差检测方法 至基于相位环空间像主成分分析的投影物镜波像差检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种基于相位环空间像主成分分析的投影物镜波像差检测方法，该方法采用相位环作为检测标记，通过对相位环空间像进行主成分分析，提取出受像差影响的空间像的主成分，再利用多元线性回归分析建立主成分系数与波像差之间的线性关系模型，根据该模型可以从空间像中提取波像差。与同类方法相比，本发明仅需采集检测标记在不同焦深位置的空间像即可同时提取出高阶奇偶像差，具有检测速度快的优点。同时，本发明设计的检测标记的空间像对各类像差具有更显著的区分特征，使各类像差在模型中彼此独立，从而减小了像差之间的串扰，提高了像差检测精度。 |
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