| 专利名称 | 一种准分子激光器的温度控制系统 | 申请号 | CN201310149256.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103219633A | 公开（授权）日 | 2013.07.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 冯泽斌;贺跃坡;王魁波;刘斌;沙鹏飞;韩晓泉;丁金滨;周翊 | 主分类号 | H01S3/041(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S3/041(2006.01)I | 专利有效期 | 一种准分子激光器的温度控制系统 至一种准分子激光器的温度控制系统 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种用于准分子激光器的温控系统，温控系统包括放电腔的腔体温控系统、磁压缩器的水冷装置、固体开关的水冷装置、主管道和多个支管道，所述腔体温控系统包括温度传感器、控制器和热交换器、热交换器的提供冷却水的管道以及设置于所述管道上的流量控制器；温度传感器实时监测所述放电腔内的气体温度，并把温度数据传送给所述控制器，控制器产生控制信号并将控制信号发送给所述流量控制器，流量控制器根据控制信号对冷却水流量进行自动调节，完成对所述放电腔内气体温度的控制。本发明能自动、精确的控制激光器各部件的温度，提高了激光器的能量转换效率、工作稳定性和使用寿命。 |
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