| 专利名称 | 一种基于微穿孔板结构的噪声发电器件 | 申请号 | CN201210019543.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103219918A | 公开（授权）日 | 2013.07.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 赵湛;吴少华;杜利东;郭丽君;方震 | 主分类号 | H02N2/18(2006.01)I | IPC主分类号 | H02N2/18(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基于微穿孔板结构的噪声发电器件 至一种基于微穿孔板结构的噪声发电器件 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种基于微穿孔板结构的噪声发电器件，涉及降噪技术与能量收集技术，包括微穿孔硅片、导电支架、敏感压电薄膜、引出电极、薄膜支撑体。微穿孔硅片是吸声降噪的结构；导电支架既可形成共振吸声结构所需的空腔，又可作为连接压电薄膜上电极的结构；下方具有压电薄膜的硅片一方面将共振腔封闭，另一方面硅片上悬空的压电薄膜能够在声波的作用下不断振动，产生极化电荷，并通过上下两层薄膜电极将电荷收集起来。本发明利用微机械电子加工技术，将硅片制作成微穿孔板结构以降低噪声，同时将噪声中所包含的声能作为能量收集器件的能量来源，将声能转化为电能，使降噪与发电互为促进，具有结构简单、可批量制备的特点。 |
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