一种液相沉积二氧化锡的方法

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专利名称 一种液相沉积二氧化锡的方法 申请号 CN201310145229.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103214030A 公开(授权)日 2013.07.24 申请(专利权)人 中国科学院物理研究所 发明(设计)人 孟庆波;肖俊彦;李冬梅;罗艳红 主分类号 C01G19/02(2006.01)I IPC主分类号 C01G19/02(2006.01)I 专利有效期 一种液相沉积二氧化锡的方法 至一种液相沉积二氧化锡的方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开一种液相沉积二氧化锡的方法,包括:以氟化亚锡的水溶液为原料,加入包含过氧化钙的添加剂,在基底的亲水性表面沉积二氧化锡;其中,所述添加剂同时作为氧化剂和氟离子捕获剂。过氧化钙的加入,使氟化亚锡的水解反应加速且可控,并且减少了氟离子的排放。本发明提供的方法适用于快速、绿色地制备二氧化锡薄膜以及各种形貌的二氧化锡微米纳米结构。

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